스퍼터링 증착
스퍼터링은 가스 글로우 방전과 관련된 박막 증착 기술입니다. 직류 스퍼터링, RF 스퍼터링 및 반응성 스퍼터링과 같은 많은 스퍼터링 방법이 있습니다. 마그네트론 스퍼터링, 중간 주파수 중국 PVD 코팅 시스템 공급 업체 스퍼터링, 직류 스퍼터링, RF 스퍼터링 및 이온 빔 스퍼터링이 널리 사용됩니다.
특성: 방전에 필요한 불활성 가스(아르곤 등)가 진공 챔버에 채워집니다. 고전압 전기장의 작용하에 기체 분자의 이온화에 의해 많은 양의 이온이 생성됩니다. 대전된 이온이 강한 전기장에 의해 가속되면 고에너지 이온 전류가 형성되어 증발원 물질(타겟이라고 함)에 충격을 가합니다. 이온 충격 아래에서 증발 소스 재료의 원자는 고체 표면을 떠나 고속으로 기판에 스퍼터링하여 박막을 증착합니다.
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