일반적인 진공 누출 감지 방법

헬륨 질량 분석에 의한 누출 감지

이 기술은 진공 누출 감지 분야에서 없어서는 안될 기술입니다. 그것은 높은 누출 감지 효율, 쉬운 조작, 민감한 기기 응답, 높은 정밀도로 인해 누출 감지에 널리 사용됩니다. 중국 PVD 코팅 시스템 공급 업체 다른 가스의 간섭을 받기 쉽습니다. 헬륨 질량 분석기 누출 감지기는 헬륨을 누출 표시기 가스로 사용하는 질량 분석 원리를 기반으로 한 일종의 기밀 감지 장비입니다. 이온 소스, 분석기, 수집기, 냉음극 이온화 게이지, 질량 분석 챔버, 배기 시스템 및 전기 부품으로 구성됩니다. 질량분석실의 필라멘트에서 방출된 전자는 실내를 전후로 진동하면서 누설홀을 통해 실내로 유입되는 헬륨 및 실내가스와 충돌하여 양이온으로 이온화된다. 이 헬륨 이온은 가속된 전기장의 좌뇌와 우뇌 아래의 자기장으로 들어가고 로렌츠 힘의 작용으로 편향되어 원호 궤도를 형성하고 가속된 전기장을 변화시킨다. 압력은 자기장과 수신 슬롯을 통해 수신 극에 도달하여 다른 질량의 이온을 감지할 수 있도록 합니다. 헬륨 주입 방법과 헬륨 흡수 방법은 헬륨 질량 분석기의 누출 감지에 가장 일반적으로 사용되는 두 가지 방법입니다.