1. 유지 보수 펌프 : 진공 시스템에서 공기량이 매우 적고 전면 펌프를 효과적으로 사용할 수 없습니다. 이를 위해 메인 펌프를 유지하기 위해 작은 보조 펌프가 장착되어 있으며 이를 유지 펌프라고 합니다. 확산 펌프의 출구에 소형 로터리 베인 펌프를 설치하면 유지 보수 펌프입니다. 중국 PVD 코팅 기계 공급 업체
2.진공 코팅: 진공에서 기판에 필름을 준비하는 방법.
3. 기판: 멤브레인 수용체.
4. 테스트 기판: 코팅 중 또는 코팅 후 초기에 측정 및/또는 테스트에 사용되는 기판.
5. 코팅 재료: 필름을 만드는 데 사용되는 원료.
6. 스퍼터링 재료 : 진공 스퍼터링에서 스퍼터링에 사용되는 코팅 재료.
7. 필름 재료: 필름을 구성하는 재료.
8. 스퍼터링 속도: 주어진 시간 간격에서 스퍼터링된 재료의 양을 시간 간격으로 나눕니다.
9. 증착 속도: 주어진 시간 간격에서 기판에 증착된 재료의 양은 시간 간격과 기판의 표면적으로 나뉩니다.
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