1. 가스 제거: 재료에서 가스의 인공 탈착.
2. 가스 방출: 가스는 재료에서 자연적으로 탈착됩니다.
3.qGU 탈착 또는 탈기 또는 탈기 속도: 주어진 시간 간격 내에서 물질로부터 탈착(또는 수축 또는 탈기)의 기체 유속(또는 분자 유속)을 시간과 표면적으로 나눕니다. 중국 플라즈마 코팅기 공급 업체
4. 증발 속도: 주어진 시간 간격 내에 표면에서 증발한 분자(또는 질량 또는 질량)의 수를 시간과 표면적으로 나눈 값.
5. 러핑 시간 : 전단 진공 펌프 또는 전단 진공 펌핑 장치가 대기압에서 기본 압력으로 펌핑하거나 상대적으로 낮은 압력에서 작동하는 진공 펌프의 압력을 시작하는 데 필요한 시간.
6. 펌프 다운 시간 : 기본 압력에 도달하는 데 필요한 시간과 같이 대기압에서 특정 압력으로 진공 시스템의 압력을 줄입니다.
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