다이아몬드 유사 탄소(DLC) PVD 코팅

DLC(다이아몬드 유사 탄소) 코팅은 Richter Precision Inc.의 특정 전문 분야입니다. PVD 및 PaCVD 코팅 구성 및 기술 중에서 DLC 코팅은 독특한 범주로 두드러집니다. 이러한 코팅은 낮은 마찰 계수와 높은 미세 경도의 바람직한 조합을 나타내므로 많은 마찰 및 마모 응용 분야에서 매우 효과적입니다.

DLC 코팅은 이온화되고 분해된 탄소 또는 탄화수소 종이 일반적으로 10-300eV의 에너지로 기판 표면에 떨어질 때 형성됩니다. DLC 필름은 뛰어난 기계적(고경도), 광학(높은 광학 밴드 갭), 전기적(높은 전기 저항), 화학적(비활성) 및 마찰(낮은 마찰 및 마모 계수) 특성을 가질 수 있으며 낮은 기판 온도(~ 200°C).

DLC 필름은 일반적으로 무정형(즉, 지배적인 결정 격자 구조가 없음)이며 sp2(흑연) 및 sp3(다이아몬드) 상의 혼합물로 구성됩니다. 필름 제어 DLC 코팅기 특성은 선택한 증착 기술(PVD 스퍼터 또는 증발 및 Pa-CVD)의 플럭스 특성, 필름 내 금속 및 수소 함량, sp2:sp3 비율, 기판 바이어스 전압, 이온 에너지 및 이온 밀도 및 기판에 크게 의존합니다. 온도. 강철에 대한 DLC 필름 마찰 계수는 일반적으로 0.05-0.20이며, 필름 경도 및 sp3 함량은 특정 용도에 맞게 조정할 수 있습니다. 금속 및 수소 함유 DLC(Me-DLC 또는 a-C:H:Me)는 35% sp3, 금속이 없는 DLC(C-DLC 또는 a-C:H) 일반적으로 1500-4000HV 및 최대 75%에서 500-2000HV 범위의 경도를 나타냅니다. sp3 , 사면체 비정질 탄소(ta-C)는 80-85% sp3로 4000-9000HV가 될 수 있습니다.

Richter Precision Inc.는 완전한 범위의 DLC 상 구성을 제공하므로 선택 가능한 기계적 및 물리적 특성의 가능한 가장 넓은 범위를 제공합니다. 도구 및/또는 응용 프로그램의 특성에 따라 가장 적합한 DLC 코팅 구조가 결정됩니다. 사용 가능한 DLC 코팅 구성의 전체 목록은 아래 표를 참조하십시오.