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마그네트론 스퍼터링 필름의 불균일성을 해결하는 방법은 무엇입니까?

Update:19-07-2019
Summary: 첫째, 상대적으로 균일한 공간 자기장을 형성하기 위해서는 자기장의 균일성과 방향성이 확보되어야 한다. 둘째, 가능한 한 공기압의 균일성을 확보해야 합니다. 진공챔버를...

첫째, 상대적으로 균일한 공간 자기장을 형성하기 위해서는 자기장의 균일성과 방향성이 확보되어야 한다.

둘째, 가능한 한 공기압의 균일성을 확보해야 합니다. 진공챔버를 설계할 때, 진공펌프의 설치위치, 방법 증발 진공 코팅 기계 공장 공정 가스 흡입구와 챔버의 공정 파이프 배치를 고려해야 합니다.

셋째, 자기장과 기압이 절대적으로 이상적일 수 없기 때문에 기압의 불균일함으로 자기장을 보상하여 최종 필름을 균일하게 할 수 있다.

넷째, 타겟 베이스의 거리도 균일성에 영향을 미치는 중요한 요소입니다.

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