1. 진공 챔버
코팅 장비 주로 두 가지 형태가 있습니다 : 연속 코팅 생산 라인 및 단일 챔버 코팅 기계, 스테인레스 스틸 재료 제조, 아르곤 아크 용접, 표면 화학 연마 처리 및 플랜지 인터페이스의 다양한 사양은 진공 챔버 구성 요소에 용접됩니다.
2, 진공 획득 부분
진공 기술에서 진공 획득 부분은 중요한 부분입니다. 진공 획득은 단일 진공 장비 및 방법으로 달성할 수 없습니다. 기계식 펌프, 루츠 펌프, 분자 펌프 시스템 등과 같은 여러 펌프를 조합하여 사용해야 합니다.
3, 진공 측정부
진공 시스템의 진공 측정 부분은 진공 챔버의 압력을 측정하는 것입니다. 진공 펌프와 마찬가지로 진공 게이지는 전체 진공 범위를 측정할 수 없으므로 사람들은 다양한 원리와 요구 사항에 따라 다양한 유형의 진공 게이지를 만들었습니다. 열전대 측정기, 이온화 측정기, Pirani 측정기 등
4. 전원부
대상 전원은 주로 DC 전원, 중간 주파수 전원, 펄스 전원, 무선 주파수 전원(RF)을 포함합니다. 일반적인 전원 공급 장치 제조업체에는 AE, ADL, Hottinger 등이 있습니다.
5. 공정 가스 투입 시스템
아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 질소(N2), 아세틸렌(C2H2), 메탄(CH4), 수소(H2), 산소(O2) 등과 같은 공정 가스는 일반적으로 가스 실린더에서 공급됩니다. 가스 감압 밸브, 가스 스톱 밸브, 파이프라인, 가스 유량계, 솔레노이드 밸브, 압전 밸브, 그리고 진공 챔버로. 이 가스 입력 시스템의 장점은 파이프 라인이 간단하고 명확하며 가스 실린더를 수리하거나 교체하기 쉽다는 것입니다. 코팅 기계는 서로 영향을 미치지 않습니다. 여러 코팅기가 가스 실린더 세트를 공유하는 경우도 있습니다. 이러한 상황은 일부 대규모 코팅 작업장에서 볼 수 있습니다. 그것의 장점은 가스 실린더의 점유, 통합 계획 및 통합 레이아웃을 줄이는 것입니다. 단점은 조인트 수가 증가하여 공기 누출 가능성이 증가한다는 것입니다. 또한 코팅기는 서로 간섭하여 한 코팅기의 파이프 라인에서 공기가 누출되어 다른 코팅기의 제품 품질에 영향을 줄 수 있습니다. 또한 가스 실린더를 교체할 때 모든 기계가 가스가 없는 상태인지 확인해야 합니다.
6. 기계적 전달부
코팅은 주변부의 두께가 균일해야 합니다. 따라서 요구 사항을 충족하려면 코팅 공정에서 3번의 회전이 있어야 합니다. 즉, 큰 공작물 테이블이 회전하는 데 필요한 반면(I) 작은 공작물 캐리어도 회전하고(II) 공작물 자체도 동시에 회전할 수 있습니다(III). 기계 설계에서는 일반적으로 대형 공작물 턴테이블의 바닥 중앙에 대형 구동 기어가 있으며 일부 작은 스타 휠이 이에 맞물립니다. 제품을 회전해야 하는 경우 일반적으로 시프트 포크에 의해 공작물이 회전합니다.
7, 가열 및 온도 측정 부분
코팅 장비는 일반적으로 서로 다른 위치에 히터가 있으며 열전대는 온도를 측정하고 제어하는 데 사용됩니다. 그러나 열전대 클램핑 위치가 공작물 위치와 다르기 때문에 온도 판독값이 공작물의 실제 온도가 될 수 없습니다. 공작물의 실제 온도를 측정하기 위해 많은 방법이 있습니다. 고온 시험지 또는 열전대 측정기를 공작물에 설치할 수 있습니다.
8. 이온 증발 및 스퍼터링 소스
멀티 아크 도금의 증발원은 일반적으로 라운드 케이크 타겟으로 알려진 라운드 케이크 모양이며 직사각형 멀티 아크 타겟도 있습니다. 타겟 베이스에 자석이 설치되어 있습니다. 자석을 앞뒤로 움직이면 자기장의 세기가 바뀌고 아크 스폿의 이동 속도와 궤적을 조정할 수 있습니다. 타겟과 타겟 베이스의 온도를 낮추기 위해서는 타겟 베이스에 지속적으로 냉각수를 공급해야 합니다. 타겟과 타겟 베이스 사이의 높은 전기 및 열 전도성을 보장하기 위해 타겟과 타겟 베이스 사이에 주석 가스켓을 추가할 수도 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 코팅은 일반적으로 직사각형 또는 원통형 스퍼터링 음극을 사용합니다.
9, 수냉식 시스템
일반적으로 냉수탑, 얼음물 기계, 워터 펌프 등으로 구성됩니다.
10, 산업 제어 시스템
스페인어
포르투갈어