증발 진공 코팅 기계 및 물리적 원리- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

증발 진공 코팅 기계 및 물리적 원리

증발 진공 코팅 기계 주로 진공 코팅 챔버와 진공 펌핑 시스템으로 구성됩니다. 진공 챔버에는 증발원 (즉, 증발 히터), 기판 홀더 및 기판 홀더, 기판 홀더, 전극로드, 전원 공급 장치, 도가니 히터, 배기 시스템 등이 있습니다.

코팅 물질은 진공 챔버의 증발 공급원에 배치된다. 진공 상태가 높은 상태에서 증발 공급원이 가열되어 증발됩니다. 증기 분자의 평균 자유 경로가 진공 챔버의 선형 크기보다 큰 경우, 필름 증기의 원자와 분자는 증발 소스로부터 증발 할 것이다. 소스 표면이 탈출 한 후, 그것은 다른 분자 나 원자에 의해 거의 충돌하고 방해받지 않으며, 기판의 표면에 직접 도달 할 수 있습니다. 기판의 저온으로 인해, 필름 재료의 증기 입자가 결제되어 필름을 형성한다.

증발 된 분자와 기질 사이의 접착력을 개선하기 위해, 기판은 적절한 가열 또는 이온 세정에 의해 활성화 될 수있다. 재료 증발, 퇴적 및 필름 형성으로부터의 진공 증발 코팅의 물리적 과정은 다음과 같습니다.

1. 다양한 방법을 사용하여 다른 형태의 에너지를 열 에너지로 변환하고, 필름 재료를 가열하여 증발 또는 숭고하고, 특정 에너지 (0.1 ~ 0.3ev)와 함께 기체 입자 (원자, 분자 또는 원자 그룹)가됩니다.

2. 기체 입자는 막 재료의 표면을 떠나 충돌없이 실질적인 움직임 속도로 직선으로 기판 표면으로 운반된다.

3. 기질 응축의 표면에 도달하는 기체 입자는 단단한 필름으로 핵 생성되고 성장한다.

4. 필름을 구성하는 원자는 재구성되고 배열되거나 화학적으로 결합됩니다 .