Summary: 적용 마그네트론 스퍼터링 마그네트론 스퍼터링은 PVD 기술에서 저온 증착을 위한 가장 효율적인 방법입니다. 마그네트론 스퍼터링 동안 전자는 암시야 커버 또는 ...
마그네트론 스퍼터링은 PVD 기술에서 저온 증착을 위한 가장 효율적인 방법입니다. 마그네트론 스퍼터링 동안 전자는 암시야 커버 또는 특별히 부착된 양극에 의해 흡수되고 얻어진 기판의 온도는 기존 스퍼터링의 온도보다 낮습니다. 다른 온도에 민감한 물질은 기질로 증착됩니다. 1998년 Teel Coating Ltd.는 저온에서 마그네트론 스퍼터링으로 고품질 TiN 및 TiCN 코팅을 증착하는 기술을 제안했으며 기판 온도를 70°C 미만으로 낮출 수 있어 유사한 코팅의 적용 범위가 확대되었습니다. 최근 몇 년 동안 영국의 Loughborough University는 마그네트론 스퍼터링 중 기판 온도를 실온에서 350~500°C에서 약 150°C로 성공적으로 낮추고 인공 치아 금형 표면과 구리에 TiN 및 CrN 코팅을 성공적으로 적용했습니다. 용접 접촉 헤드의 수명이 5~10배 증가합니다. 저온 증착 방법 및 공정에 대한 연구는 매우 의미 있고 유망하다고 볼 수 있습니다.
스페인어
포르투갈어