진공 코팅 기계가 좋은 필름을 코팅하려면 진공 코팅, 기본 표적 거리, 증발 온도, 기질 온도, 잔류 가스 압력 및 기타 인자와 같은 많은 요인이 정상 상태인지 확인해야합니다. 특정 요인에는 편차가 있습니다. 진공 코팅 기계의 코팅 층의 성능에 영향을 미칩니다. 다음은 진공 코팅 기계의 코팅 성능에 어떤 요인이 영향을 미치는지 자세히 설명하는 진공 편집기입니다. 도움이되기를 바랍니다.
1. 증발 속도
증발 속도의 크기는 증착 된 필름에 큰 영향을 미칩니다. 낮은 증착 속도에 의해 형성된 코팅 구조는 느슨하고 큰 입자를 퇴적하기 쉽기 때문에 코팅 구조의 소형을 보장하기 위해 더 높은 증발 속도를 선택하는 것이 매우 안전하다. 진공 챔버에서 잔류 가스의 압력이 일정 할 때, 기판 폭격의 폭격 속도는 일정한 값이다. 따라서, 더 높은 증착 속도를 선택한 후, 증착 된 필름에 함유 된 잔류 가스가 감소되어 잔류 가스 분자와 증발 된 필름 물질의 입자 사이의 화학 반응이 감소 될 것이다. 따라서, 증착 된 필름의 순도가 향상 될 수있다. 증착 속도가 너무 높으면 필름의 내부 응력을 증가시켜 필름 층의 결함이 증가하고 심지어 심각한 경우에는 필름 계층의 균열이 발생할 수 있습니다. 특히, 반응성 증발 과정에서, 반응 가스 및 증발 된 필름 재료 입자가 충분히 반응하도록하기 위해 더 낮은 증착 속도를 선택할 수있다. 물론, 다른 재료 증발에는 다른 증발 속도를 사용해야합니다. 낮은 증착 속도가 필름의 성능에 어떻게 영향을 미칠 수 있는지에 대한 실질적인 예로서 반사 필름의 증착입니다. 예를 들어, 필름 두께가 600x10-8cm이고 증발 시간이 3s 인 경우 반사율은 93%입니다. 그러나, 동일한 필름 두께로 증발 속도가 느려지면 필름 증착을 완료하는 데 10 분이 걸립니다. 현재 필름의 두께는 동일합니다. 그러나 반사율은 68%로 떨어졌습니다.
2. 기질 온도
기판 온도는 또한 증발 코팅에 큰 영향을 미칩니다. 높은 기판 온도에서 기질 표면에 흡착 된 잔류 가스 분자는 쉽게 제거됩니다. 특히, 수증기 분자의 배제가 더 중요하다. 더욱이, 더 높은 온도에서 물리 흡착에서 화학적 흡착으로의 전이를 촉진하는 것은 쉽다. 따라서 입자들 사이의 결합력을 증가시킨다. 또한, 증기 분자의 재결정 화 온도와 기질 온도 사이의 차이가 감소하여 필름-하류 계면의 내부 응력을 감소 시키거나 제거 할 수있다. 또한, 기질 온도는 필름의 결정 상태와 관련이 있기 때문에, 비정질 또는 미세 결정질 코팅은 기질상의 가열 조건 하에서 쉽게 형성되는 경향이있다. 반대로, 온도가 더 높으면 결정질 코팅을 쉽게 생성 할 수 있습니다. 기질 온도를 증가시키는 것은 또한 코팅의 기계적 특성의 개선에 유리하다. 물론, 증발 된 코팅의 재 증명을 방지하기 위해 기판 온도가 너무 높아서는 안됩니다.
3. 필름 성능에 대한 진공 챔버에서 잔류 가스 압력의 영향
진공 챔버에서 잔류 가스의 압력은 막 성능에 큰 영향을 미칩니다. 압력이 너무 높으면 잔류 가스 분자는 증발 된 입자와 충돌하기 쉽기 때문에 기판에서 촬영 한 사람들의 운동 에너지가 감소되어 필름의 접착에 영향을 미칩니다. 또한, 과도한 잔류 가스 압력은 막의 순도에 심각한 영향을 미치고 코팅의 성능을 감소시킬 것이다.
4. 증발 코팅에 대한 증발 온도의 효과
필름 성능에 대한 증발 온도의 영향은 온도의 함수로서 증발 속도에 의해 나타납니다. 기화 온도가 높으면 기화 열이 감소합니다. 필름 재료가 증발 온도 위로 증발하면 온도의 약간의 변화조차도 필름 재료의 증발 속도의 빠른 변화를 유발할 수 있습니다. 따라서, 증발 소스가 가열 될 때 큰 온도 구배를 피하기 위해 필름의 증착 동안 증발 온도를 정확하게 제어하는 것이 매우 중요하다. 숭고하기 쉬운 필름 재료의 경우, 필름 자료 자체는 히터로 선택되며 증발과 같은 측정도 매우 중요합니다. .
위의 네 가지 측면은 진공 코팅 기계의 코팅 층의 성능에 영향을 미치는 공통 요인이며, 또한 기존의 영향 요인이기도합니다. 진공 코팅 기계의 코팅 공정 중에 이러한 요인이 정상 상태인지 확인해야합니다 .