Magnetron 스퍼터링 코팅 기계 내의 작동 압력은 기판에 적용된 코팅의 품질과 균일 성에 어떤 영향을 미칩니 까?
작동 압력은 스퍼터링 된 재료의 증착 속도를 기판에 제어하는 데 직접적인 역할을한다. 낮은 압력에서는 평균 자유 경로 (스퍼터링 된 원자가 다른 입자와 충돌하기 전에 이동하는 거리)가 더 길어집니다. 이는 스퍼터링 된 입자가 표적에서 기질로보다 자유롭고 직접 이동하여 증착 공정의 효율을 증가시킬 수 있음을 의미합니다. 이로 인해 더 빠른 증착 속도...

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