진공 스퍼터링- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

진공 스퍼터링

1, 소개

일반적으로 고속 저온 스퍼터링 방법에 속하는 Magnetron 스퍼터링을 나타냅니다. 불활성 가스 (AR)는 진공으로 채워지고 캐비티와 금속 표적 (음극) 사이에 고전압 직류가 첨가된다. 글로우 배출에 의해 생성 된 전자가 불활성 가스를 흥분시키기 위해 아르곤 양성 이온을 생성함에 따라, 양의 이온은 고속에서 캐소드 표적을 향해 이동하고, 표적 원자를 폭파하고, 플라스틱 기판 상에 증착되어 필름을 형성한다. 중국 증발 진공 코팅 기계 제조업체

2, 원리

고 에너지 입자 (일반적으로 전기장에 의해 가속 된 양의 이온)가 고체 표면을 폭격하는 데 사용될 때, 고체 표면 교환 운동 에너지에서 고체와 분자가 스퍼터링이라고 불리는 현상을 고체 표면을 폭격 할 때. 튀어 나온 원자 (또는 클러스터)는 일정량의 에너지를 가지며, 고체 기판의 표면에 다시 증착되어 축 압축되어 박막을 형성 할 수 있습니다.