진공 코팅 시스템의 주요 구성 요소는 무엇입니까?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

진공 코팅 시스템의 주요 구성 요소는 무엇입니까?

1. 진공 챔버

코팅 장비 주로 연속 코팅 생산 라인 및 단일 챔버 코팅 기계, 스테인레스 스틸 재료 제조, 아르곤 아크 용접, 표면 화학적 연마 처리 및 플랜지 인터페이스의 다양한 사양은 진공 챔버 구성 요소에 용접됩니다.

2, 진공 획득 부분

진공 기술에서 진공 획득 부분이 중요한 부분입니다. 진공의 획득은 단일 진공 장비 및 방법으로 달성 할 수 없습니다. 기계식 펌프, 뿌리 펌프, 분자 펌프 시스템 등과 같은 여러 펌프를 조합하여 사용해야합니다.

3, 진공 측정 부분

진공 시스템의 진공 측정 부분은 진공 챔버의 압력을 측정하는 것입니다. 진공 펌프와 마찬가지로, 진공 게이지는 전체 진공 범위를 측정 할 수 없으므로 사람들은 다양한 원리와 요구 사항에 따라 많은 유형의 진공 게이지를 만들었습니다. 열전대 미터, 이온화 미터, 피라니 미터 등과 같은 등

4. 전원 공급 장치 부품

대상 전원 공급 장치에는 주로 DC 전원 공급 장치, 중간 주파수 전원 공급 장치, 펄스 전원 공급 장치 및 무선 주파수 전원 공급 장치 (RF)가 포함됩니다. 일반적인 전원 공급 장치 제조업체에는 AE, ADL, Hottinger 등이 포함됩니다.

5. 프로세스 가스 입력 시스템

아르곤 (AR), 크립톤 (KR), 질소 (N2), 아세틸렌 (C2H2), 메탄 (CH4), 수소 (H2), 산소 (O2) 등과 같은 공정 가스는 일반적으로 가스 실린더에 의해 공급됩니다. 가스 압력 감소 밸브, 가스 정지 밸브, 파이프 라인, 가스 유량계, 솔레노이드 밸브, 압전 밸브, 그런 다음 진공 챔버 내로. 이 가스 입력 시스템의 장점은 파이프 라인이 간단하고 명확하며 가스 실린더를 쉽게 수리하거나 교체 할 수 있다는 것입니다. 코팅 기계는 서로 영향을 미치지 않습니다. 다수의 코팅 기계가 가스 실린더 세트를 공유하는 경우도있다. 이 상황은 일부 대규모 코팅 워크샵에서 볼 수 있습니다. 그것의 장점은 가스 실린더의 점유, 통합 계획 및 통합 레이아웃을 감소 시킨다는 것입니다. 단점은 관절 수의 증가로 인해 공기 누출 가능성이 증가한다는 것입니다. 또한, 코팅 기계는 서로를 방해 할 것이며, 하나의 코팅 기계의 파이프 라인은 공기가 누출되어 다른 코팅 기계의 제품 품질에 영향을 줄 수 있습니다. 또한 가스 실린더를 교체 할 때 모든 기계가 가스가 아닌 상태에 있는지 확인해야합니다.

6. 기계적 전송 부분

코팅은 주변의 두께가 균일해야합니다. 따라서 요구 사항을 충족시키기 위해 코팅 공정에 세 번의 회전이 있어야합니다. 즉, 큰 공작물 테이블은 (i) 회전해야하지만, 작은 공작물 운반체도 (ii) 회전하고 공작물 자체가 동시에 회전 할 수 있습니다 (iii). 기계 디자인에서는 일반적으로 큰 공작물 턴테이블 바닥의 중앙에 큰 구동 기어가 있으며, 일부 작은 별 바퀴는 그것과 맞물려 있습니다. 제품을 회전시키려면 공작물은 일반적으로 시프트 포크에 의해 회전됩니다.

7, 가열 및 온도 측정 부품

코팅 장비에는 일반적으로 다른 위치에있는 히터가 있으며 열전대는 온도를 측정하고 제어하는 데 사용됩니다. 그러나 열전대 클램핑 위치는 공작물 위치와 다르기 때문에 온도 판독 값은 공작물의 실제 온도가 될 수 없습니다. 공작물의 실제 온도를 측정하려면 많은 방법이 있으며, 공작물에 고온 테스트 용지 또는 열전대 미터를 설치할 수 있습니다.

8. 이온 증발 및 스퍼터링 소스

멀티 아크 도금의 증발 공급원은 일반적으로 둥근 케이크 표적으로 알려진 둥근 케이크의 모양이며, 직사각형 멀티 아크 표적도 있습니다. 자석이 대상베이스에 설치됩니다. 자석을 앞뒤로 움직임으로써 자기장의 강도가 변경되고 아크 스팟의 움직이는 속도와 궤적을 조정할 수 있습니다. 대상 및 대상베이스의 온도를 줄이려면 대상베이스에 냉각수를 지속적으로 공급해야합니다. 대상과 대상베이스 사이의 높은 전기 및 열 전도도를 보장하기 위해, 대상과 대상 기반 사이에 주석 개스킷을 추가 할 수 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 코팅은 일반적으로 직사각형 또는 원통형 스퍼터링 캐소드를 사용합니다.

9, 수냉 시스템

일반적으로 냉수 타워, 얼음물 기계, 워터 펌프 등으로 구성됩니다.

10, 산업 제어 시스템

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