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스퍼터링 증착
기본 원칙
고체 표면은 에너지 입자 (일반적으로 전기장에 의해 가속되는 양의 이온)로 충격을받습니다. 입사 에너지 입자와 동 역학적 에너지를 교환 한 후 고체 표면에서 원자와 분자의 스퍼터링을 스퍼터링이라고합니다. 스퍼터링 된 원자 (또는 클러스터)에는 일정량의 에너지가 있습니다. 그것들은 고체 기질의 표면에서 재 퇴치 및 응축되어 스퍼터링 코팅이라고 불리는 박막을 형성 할 수있다. 중국 플라즈마 코팅 기계 공급 업체
전통적인 진공 증발과 비교하여 스퍼터링 코팅은 다음과 같은 많은 장점이 있습니다.
필름과 매트릭스 사이의 접착력은 강합니다.
높은 융점 재료의 박막을 준비하는 것이 편리합니다.
균일 한 필름은 넓은 영역의 접촉 기판에서 제조 될 수있다.
필름의 구성은 쉽게 제어 될 수 있으며, 다른 구성 및 비율을 갖는 합금 필름을 준비 할 수있다.
반응성 스퍼터링을 사용하여 다양한 화합물 필름을 준비 할 수 있으며, 다층 필름을 쉽게 도금 할 수 있습니다.
산업화 된 생산, 연속 및 자동 작동 등은 쉽습니다 .
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