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단단한 표면은 에너지 입자로 가득 차 있습니다.

Update:12-10-2019
Summary: 스퍼터링 증착 기본 원리들 고체 표면은 에너지 입자(보통 전기장에 의해 가속되는 양이온)로 충격을 받습니다. 입사된 에너지 입자와 운동 에너지를 교환한 후 고체 표...

스퍼터링 증착

기본 원리들

고체 표면은 에너지 입자(보통 전기장에 의해 가속되는 양이온)로 충격을 받습니다. 입사된 에너지 입자와 운동 에너지를 교환한 후 고체 표면에서 원자 및 분자의 스퍼터링을 스퍼터링이라고 합니다. 스퍼터링된 원자(또는 클러스터)는 일정량의 에너지를 가지고 있습니다. 이들은 스퍼터링 코팅이라고 하는 얇은 필름을 형성하기 위해 고체 기질의 표면에 재증착되고 응축될 수 있습니다. 중국 플라즈마 코팅기 공급 업체

기존의 진공 증발과 비교하여 스퍼터링 코팅은 다음과 같은 많은 장점이 있습니다.

필름과 매트릭스 사이의 접착력이 강합니다.

고융점 물질의 박막을 제조하는 것이 편리합니다.

넓은 면적의 접촉 기판에 균일한 필름을 제조할 수 있습니다.

피막의 조성을 쉽게 조절할 수 있으며 조성과 비율이 다른 합금 피막을 제조할 수 있습니다.

반응성 스퍼터링을 사용하여 다양한 화합물 필름을 제조할 수 있으며 다층 필름을 쉽게 도금할 수 있습니다.

산업화 생산, 연속 및 자동 운전 등에 용이합니다.

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