마그네트론 스퍼터링의 적용- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

마그네트론 스퍼터링의 적용

Magnetron Sputtering은 PVD 기술에서 저온 증착을위한 효율적인 방법입니다. 마그네트론 스퍼터링 동안, 전자는 어두운 필드 커버 또는 특수 부착 된 양극에 흡수되며, 얻어진 기판의 온도는 전통적인 스퍼터링의 온도보다 낮다. 다른 온도 민감한 재료는 기질로 증착됩니다. 1998 년, Teel Coating Ltd.는 저온에서 마그네트론 스퍼터링에 의해 고품질 틴 및 TICN 코팅을 퇴적하는 기술을 제안했으며, 기질 온도는 70 ℃ 미만으로 낮아져 유사한 코팅의 가능한 적용 범위를 확장시킬 수있다. 최근 영국의 Loughborough University는 Magnetron Sputtering 동안 실온에서 350 ~ 500 ° C에서 약 150 ° C로 기질 온도를 성공적으로 감소 시켰으며, 인공 치아 곰팡이 표면에 성공적으로 적용한 주석 및 CRN 코팅은 Welding Contact Head의 표면을 5 ~ 10 회 증가시킵니다. 저온 증착 방법 및 프로세스에 대한 연구는 매우 의미 있고 유망하다는 것을 알 수 있습니다 .