진공 코팅 마그네트론 스퍼터링에 대한 공통 지식- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

진공 코팅 마그네트론 스퍼터링에 대한 공통 지식

DC 마그네트론 스퍼터링 , RF Magnetron Sputtering, 펄스 마그네트론 스퍼터링 및 중간 프리 2Quency Magnetron Sputtering

반응성 스퍼터링은 스퍼터링 시스템의 불활성 가스 대기에 특정 비율의 반응성 가스를 도입하는 것입니다. 일반적으로 주요 반응성 가스는 산소와 질소입니다.

DC 스퍼터링 방법은 스퍼터링 재료가 전도성 재료 인 스퍼터링 및 반응성 스퍼터링 코팅에 사용되며 공정 장비는 간단하고 스퍼터링 속도가 높습니다.

단일 캐소드 표적 시스템에서, 중간 주파수 AC 마그네트론 스퍼터링은 펄스 마그네트론 스퍼터링과 동일한 전하 방출 및 아크 예방 효과를 갖는다. 중간 주파수 AC 스퍼터링 기술은 트윈 대상 (TWIN2MAG) 스퍼터링 시스템에도 적용됩니다. 중간 주파수 AC 트윈 대상 스퍼터링은 중간 주파수 AC 전원 공급 장치의 2 개의 출력 끝을 폐쇄 자기장 불균형 스퍼터링 이중 표적의 각각의 음극에 연결하는 것입니다. 따라서, 반대 상을 갖는 교대 전압은 각각 이중 표적에 대해 얻어지고, 한 쌍의 마그네트론 스퍼터링 표적은 번갈아 음극과 양극이된다.

트윈 대상 스퍼터링 기술은 Magnetron 스퍼터링 작동의 안정성을 크게 향상시켜 독이 된 대상 표면에 전하가 축적되어 대상 표면의 아크 점화 문제와 양극의 사라짐을 유발할 수 있습니다. 대량 생산의 기초를 마련하십시오.

마그네트론 스퍼터링 코팅 기계

멀티 아크 이온 및 스퍼터링 코팅은 광범위한 색상으로 증착 될 수 있습니다. 증착 공정 동안 챔버에 반응성 가스를 도입함으로써 색상의 울퉁불퉁 한 것이 더욱 향상 될 수있다. 장식 코팅에 널리 사용되는 반응성 가스는 질소, 산소, 아르곤 또는 아세틸렌입니다. 장식 코팅은 코팅의 금속 대 가스 비율과 코팅의 구조에 따라 특정 색 범위로 생성됩니다. 이들 요인 모두 증착 파라미터를 변경함으로써 변경 될 수있다.

증착 전에, 부품이 청소되도록 표면에 먼지 또는 화학적 불순물이 없도록. 코팅 프로세스가 시작되면 모든 관련 프로세스 매개 변수는 자동 컴퓨터 제어 시스템에 의해 지속적으로 모니터링되고 제어됩니다 .

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