PVD 기술의 일반적인 방법- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

PVD 기술의 일반적인 방법

스퍼터링 증착

스퍼터링은 가스 글로우 배출과 관련된 박막 증착 기술입니다. 직류 스퍼터링, RF 스퍼터링 및 반응성 스퍼터링과 같은 많은 스퍼터링 방법이 있습니다. 마그네트론 스퍼터링, 중간 주파수 중국 PVD 코팅 시스템 공급 업체 스퍼터링, 직류 스퍼터링, RF 스퍼터링 및 이온 빔 스퍼링이 널리 사용됩니다.

특성 : 배출에 필요한 불활성 가스 (예 : 아르곤)는 진공 챔버에 채워집니다. 고전압 전기장의 작용 하에서, 가스 분자의 이온화에 의해 다수의 양의 이온이 생성된다. 하전 된 이온이 강한 전기장에 의해 가속 될 때, 증발 소스 재료 (대상이라고 함)를 폭격하기 위해 고 에너지 이온 전류가 형성됩니다. 이온 폭격 하에서, 증발 공급원 재료의 원자는 고체 표면을 남겨두고 박막을 퇴적하기 위해 고속으로 기판에 스퍼터링됩니다 .

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