일반적인 진공 누출 감지 방법- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

일반적인 진공 누출 감지 방법

헬륨 질량 분석법에 의한 누출 감지

이 기술은 진공 누출 감지 분야에서 필수 기술입니다. 누출 감지 효율이 높기 때문에 누출 감지에 널리 사용됩니다. 중국 PVD 코팅 시스템 공급 업체 다른 가스에 의해 쉽게 방해됩니다. 헬륨 질량 분석기 누출 감지기는 헬륨을 누출 지표 가스로 사용하는 질량 분석법 원리를 기반으로 한 일종의 가스 압박 감지 기기입니다. 이온 소스, 분석기, 수집기, 차가운 캐소드 이온화 게이지, 질량 분석 챔버, 배기 시스템 및 전기 부품으로 구성됩니다. 질량 분석 챔버의 필라멘트에서 방출되는 전자는 방에서 앞뒤로 진동하고 실내 가스와 헬륨이 새는 구멍을 통해 방으로 들어가서 양의 이온으로 이온화됩니다. 이 헬륨 이온은 가속 전기장의 왼쪽 및 오른쪽 뇌 하에서 자기장으로 들어가서 로렌츠 힘의 작용으로 인해 변형되어 원형 아크 궤도를 형성하고 가속 전기장을 변화시킨다. 압력은 자기장을 통해 수신 극에 도달하고 슬롯을 수신함으로써 상이한 질량의 이온을 감지 할 수있게한다. 헬륨 주입 방법 및 헬륨 흡수 방법은 헬륨 질량 분석기의 누출 검출에 일반적으로 사용되는 두 가지 방법입니다 .

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