다이아몬드와 같은 탄소 (DLC) PVD 코팅- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

다이아몬드와 같은 탄소 (DLC) PVD 코팅

다이아몬드 유사 탄소 (DLC) 코팅은 PVD & PACVD 코팅 구성 및 기술 중 DLC 코팅이 독특한 범주로 두드러진 Richter Precision Inc.의 특정 전문 분야입니다. 이들 코팅은 낮은 마찰 계수와 높은 미세 하전의 바람직한 조합을 나타내므로 많은 마모 및 마모 응용 분야에서 효과적입니다.

DLC 코팅은 이온화 및 분해 된 탄소 또는 탄화수소 종이 일반적으로 10-300ev 에너지를 갖는 기질 표면에 착륙 할 때 형성된다. DLC 필름은 탁월한 기계식 (높은 경도), 광학 (높은 광 밴드 갭), 전기 (높은 전기 저항성), 화학 (불활성) 및 트리 컬카 (낮은 마찰 및 마모 계수) 특성을 가질 수 있으며 저 기판 온도 (~ 200 ° C)에 증착 될 수 있습니다.

DLC 필름은 일반적으로 비정질이며 (즉, 우세한 결정질 격자 구조가 없음) SP2 (흑연) 및 SP3 (다이아몬드) 단계의 혼합물로 구성됩니다. 필름의 제어 DLC 코팅 기계 특성은 필름 내에서 선택된 증착 기술 (PVD 스퍼터 또는 증발 및 PA-CVD), 금속 및 수소 함량, SP2 : SP3 비율, 기질 바이어스 전압, 이온 에너지 및 이온 밀도 및 기질 온도의 플럭스 특성에 크게 의존한다. 강철에 대한 DLC 필름 마찰 계수는 일반적으로 0.05-0.20이며, 필름 경도 및 SP3 함량은 특정 응용 분야에 맞게 조정될 수 있습니다. DLC를 함유하는 금속 및 수소 (ME-DLC 또는 A-C : H : ME)는 35% SP3, 금속 프리 DLC (C-DLC 또는 A-C : H)의 500-2000HV 범위에서 경도를 나타냅니다. 전형적으로 1500-4000HV 및 최대 75% SP3, Tetrahedral Amorphous Carbon (TA-C)은 80-9000HV가 될 수 있습니다.

Richter Precision Inc.는 전체 범위의 DLC 위상 구성을 제공하므로 선택 가능한 기계 및 물리적 특성의 가장 광범위한 범위입니다. 도구 및/또는 애플리케이션의 특성은 어떤 DLC 코팅 구조가 가장 적합한 지 결정합니다. 사용 가능한 DLC 코팅 구성의 전체 목록은 아래 표를 참조하십시오 .

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