DLC 코팅 머신은 코팅 중에, 특히 열에 민감한 기판의 경우 냉각 공정을 어떻게 관리합니까?

그만큼 DLC 코팅 기계 증착 공정 동안 온도를 조절하도록 설계된 전용 냉각 시스템을 통합합니다. 이 시스템에는 종종 기판 홀더 또는 챔버 벽과 같이 기계의 민감한 영역 주위에 냉각 유체를 순환하는 공기 또는 액체 냉각 회로가 포함됩니다. 냉각 시스템은 코팅 공정에서 열 축적이 제어되도록하여 과도한 온도가 기판에 영향을 미치지 않도록합니다. 액체 냉각을 사용하는 시스템에서, 특수 냉각제는 파이프 나 열교환기를 통해 순환하여 열을 효율적으로 소산합니다. 대조적으로, 공기 냉각 시스템은 기판 또는 챔버 표면과 같은 가열 성분보다 시원한 공기를 지시하는 고 유량 팬 또는 외부 송풍기를 사용하여 열 구배가 발생하지 않도록하여 코팅 균일 성에 영향을 줄 수 있습니다.

폴리머 또는 박막과 같은 열에 민감한 기판의 경우, DLC 코팅 기계는 종종 정확한 온도 모니터링 및 제어 시스템을 통합합니다. 이 시스템은 기판과 직접 접촉하거나 근처에 배치 된 열전대 또는 적외선 센서를 사용하여 온도 변동을 실시간으로 모니터링합니다. 온도 판독 값에 따라 기계는 열 손상을 방지하기 위해 냉각 속도를 조정합니다. 제어 냉각의 사용은 열 응력을 방지하여 뒤틀림, 균열 또는 기타 형태의 기판 분해를 유발할 수 있습니다. 온도 제어 단계 또는 랙은 코팅 공정 동안 안전한 온도에서 기판을 유지하는 데 사용될 수 있습니다. 이 단계에는 때때로 자체 독립적 인 냉각 메커니즘이 장착되어있어 챔버의 열이 민감한 영역에 축적되지 않도록합니다.

일부 고급 DLC 코팅 기계에서는 공정 흐름에 통합 된 전용 예열 및 코팅 후 냉각 단계가있을 수 있습니다. 기판은 코팅 공정이 시작되기 전에 제어 된 온도로 부드럽게 예열 될 수 있으며, 균일 한 증착을 보장합니다. 증착 공정에 따라, 기판에 대한 열 충격을 방지하기 위해 점진적인 냉각 단계가 개시된다. 이 냉각 단계는 종종 단계에서 발생하며, 냉각 속도는 재료의 응력을 유발하지 않도록 신중하게 조절됩니다. 전체 냉각 공정은 코팅중인 재료의 특정 열 특성과 정렬되도록 미세하게 조정할 수있어 갑작스런 온도 변화가 발생하여 균열 또는 다른 유형의 손상을 초래할 수 있습니다.

진공 증착 공정을 사용하는 DLC 코팅 기계에서, 진공 챔버의 온도 관리는 열 축적을 제어하는 ​​데 중요합니다. 전자 건 또는 음극과 같은 기계 성분이 과열되는 것을 방지하기 위해 챔버를 냉각시켜 전체 코팅 성능에 부정적인 영향을 줄 수 있습니다. 민감한 기판의 경우, 챔버 내의 냉각 시스템은 열이 축적 될 수있는 중요한 영역에 냉각 가스를 지시하거나 액체를 순환하도록 설계되었습니다. 챔버 내에서 열 방패 또는 절연 장벽을 사용하면 최적의 열 환경을 유지함으로써 섬세한 기질을 열 노출로부터 보호하는 데 도움이됩니다.

일부 특수한 DLC 코팅 기계에서, 극저란 냉각 방법이 사용되어 열 축적을 추가로 완화시킨다. 극저온 냉각은 액체 질소와 같은 매우 차가운 가스를 사용하여 코팅 공정 중 또는 후에 빠르게 낮은 온도를 사용하는 것이 포함됩니다. 이 기술은 매우 빠른 냉각을 가능하게하여 열 손상의 위험을 줄이기 때문에 열에 매우 민감한 기판에 특히 유용합니다. 극저온 냉각은 또한 증착 동안 상당한 온도 구배를 방지함으로써 균일 한 코팅을 달성하는 데 도움이되며, 그렇지 않으면 코팅 결함 또는 불일치로 이어질 수 있습니다 .