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복잡한 모양 또는 복잡한 기능으로 부품을 코팅하는 문제를 해결하기 위해 PVD 코팅 기계 일반적으로 고급 회전 및 다축 운동 시스템을 통합합니다. 이 시스템은 기판이 지속적으로 재배치되도록하여 코팅하기 어려울 수있는 것들을 포함하여 모든 표면에서 균일 한 증착을 가능하게합니다. 예를 들어, 증착 공정 동안, 부품은 하나 이상의 축 주위로 회전하여 부품의 각면이 일관된 코팅 층을 수신하도록합니다. 이 움직임은 특히 원통형 또는 비 플랫 기질과 같은 복잡한 형상에 특히 유용하며, 직접적인 시점 증착은 고르지 않은 코팅을 초래할 수 있습니다.
정밀 표적 및 기판 포지셔닝 시스템은 복잡한 형상이있는 부품의 증착 공정을 최적화하는 데 중요한 역할을합니다. PVD 코팅 기계는 표적 재료에 비해 기판의 각도와 위치를 조정하여 증착 각도를 최적화 할 수 있습니다. 이 조정은 코팅 입자가 기판의 모든 표면, 심지어 보발되거나 접근하기 어려운 표면에 도달 할 수 있도록 도와줍니다. 기판과 기화 된 재료 사이의 정렬을 미세하게 조정함으로써, 기계는 코팅이 제어 된 방식으로 적용되도록하여 코팅 결함 또는 불균일 한 필름 두께, 특히 미세한 특징을 가진 상세한 부품에서 고르지 않은 필름 두께의 위험을 최소화합니다.
PVD 코팅 기계의 진공 챔버는 종종 복잡한 기능을 갖춘 광범위한 부분 모양을 수용 할 수 있도록 맞춤형 엔지니어링됩니다. 이 챔버는 부품을 제자리에 고정시키는 특수 고정 시스템으로 설계되어 코팅 공정 중에 안정적인 상태를 유지할 수 있습니다. 진공 환경은 오염 물질이 표면에서 제거되어 코팅의 접착력을 개선하고 결함의 위험을 최소화하도록합니다. 또한, 진공 챔버 설계는 아르곤 또는 질소와 같은 다양한 공정 가스를 도입 할 수 있으며, 이는 복잡한 형상이있는 부품에 맞게 조정 된 경도, 접착 및 부식성과 같은 코팅의 특성을 수정하기 위해 제어 할 수 있습니다.
고급 PVD 시스템에서, 코팅 재료는 종종 혈장으로 이온화되거나 기판을 향한 증기 빔을 통해 지시된다. 기계는 균일 한 적용 범위를 보장하기 위해 여러 혈장 공급원 또는 기판의 특정 영역으로 직접 이온화 된 입자를 사용할 수 있습니다. 복잡하거나 깊은 특징이있는 부품의 경우 기계는 플라즈마 또는 증기 빔의 방향성과 강도를 조정할 수 있습니다. 이 기능은 오목한 채널, 날카로운 모서리 또는 표면 윤곽이 다양한 부품과 같은 도전적인 형상에 일관된 증착을 보장하는 데 필수적입니다. 이온화 된 입자는 기판을 향해 가속되어 기존의 방법으로 도달하기 어려운 표면에서도 우수한 코팅 품질을 제공합니다.
마스킹 및 그림자는 특히 선택적 코팅이 필요한 복잡한 부품에서 코팅이 증착되는 위치를 제어하는 데 사용되는 효과적인 기술입니다. 마스킹은 기판의 특정 영역을 증착에 저항하는 재료로 덮는 반면, 그림자는 특정 영역에서 증착을 방지하기 위해 부품의 물리적 기하학을 활용합니다. 예를 들어, 구멍, 홈 또는 날카로운 모서리와 같은 복잡한 특징으로 부품을 코팅 할 때, 특정 표면 만 코팅을 수용 할 수 있도록 그림자 기술을 사용 할 수 있습니다. 이것은 기판의 다른 부분에 다른 코팅 특성이 필요하거나 전기 접촉 지점 또는 스레드와 같은 기능적 이유로 일부 영역이 코팅되지 않아야 할 때 특히 유용합니다 .
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