Magnetron 스퍼터링 필름의 불균일성을 해결하는 방법은 무엇입니까?

, 자기장의 균일 성과 방향은 비교적 균일 한 공간 자기장을 형성하도록 보장되어야한다.

둘째, 기압의 균일 성은 가능한 한 보장되어야합니다. 진공 챔버, 진공 펌프의 설치 위치, 증발 진공 코팅 기계 공장 공정 가스 섭취와 챔버의 공정 파이프 레이아웃을 고려해야합니다.

셋째, 자기장과 공기압이 절대적으로 이상적이지 않기 때문에, 자기장은 최종 필름을 균일하게하기 위해 공기압의 불균일성에 의해 보상 될 수있다.