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막 기계는 현재 진공 상태를 만드는 데 널리 사용되는 장비입니다. 관련 구성 요소 및 구성 요소 : 기계식 펌프, 부스터 펌프, 오일 확산 펌프, 응축수 펌프, 진공 측정 시스템.
진공 신체-공산 챔버는 가공 된 생성물에 따라 다른 요구 사항을 가지며, 진공 챔버의 크기도 다릅니다. 현재 널리 사용되는 것은 1.3m, 0.9m, 1.5m, 1.8m 등입니다. 챔버는 스테인레스 스틸로 만들어졌으며 요구 사항이 녹슬고 고체 등의 요구 사항에 따라 각 흡입 펌프를 연결하는 데 사용되는 진공 챔버의 각 부분에 연결 밸브가 있습니다. 진공 코팅 기계
주로 4 개의 부품, 진공 장치, 진공 상자, 증발 시스템, 제어 시스템으로 나뉩니다.
장치는 낮은 진공, 고 진공 청소기, 뿌리 펌프 장치, 확산 펌프 장치, 분자 펌프 장치, Cryopump 장치 등으로 나눌 수 있습니다.
증발은 전자 빔 증발, 저항 가열 증발, 마그네트론 스퍼터링 증발, 멀티 아크 증발 으로 나뉩니다.
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