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진공도장 부작용 개선 대책은?

Update:25-10-2021
Summary: 전략 개선: 탈지 및 오염 제거 처리를 강화합니다. 초음파 세척인 경우 탈지 기능에 중점을 두고 탈지 용액의 효과를 보장해야 합니다. 손으로 닦은 경우 탄산칼...
전략 개선:
탈지 및 오염 제거 처리를 강화합니다. 초음파 세척인 경우 탈지 기능에 중점을 두고 탈지 용액의 효과를 보장해야 합니다. 손으로 닦은 경우 탄산칼슘 가루로 먼저 닦은 후 닦는 것을 고려하십시오.
도금 전에 베이킹을 강화하십시오. 여건이 된다면 하지온도는 300℃ 이상으로 하는 것이 좋으며, 하지표면의 수증기와 유증기를 최대한 휘발시키기 위해서는 일정한 온도를 20분 이상 유지하는 것이 좋다. *참고: 온도가 높을수록 기판의 흡착 용량이 커지고 먼지도 쉽게 흡착됩니다. 따라서 진공 챔버의 청정도를 개선해야 합니다. 그렇지 않으면 도금 전에 먼지가 기판에 달라붙어 다른 결함 외에도 필름의 강도에 영향을 미칩니다. (진공 상태에서 기판 상의 수증기의 화학적 탈착 온도는 260℃ 이상입니다.) 그러나 모든 부품을 고온에서 소성할 필요는 없으며 일부 질산염 재료는 고온이 있지만 필름 강도가 높지 않아 얼룩이 발생할 수 있습니다. 이것은 재료의 응력 및 열 매칭과 더 큰 관계가 있습니다.
조건이 허용되는 경우 장치에는 콘덴서(PLOYCOLD)가 장착되어 있어 장치의 진공 펌핑 속도를 높일 수 있을 뿐만 아니라 기판에서 수증기와 오일 및 가스를 제거하는 데 도움이 됩니다.
증발의 진공도를 높입니다. 1 미터 이상의 코팅 기계의 경우 증발 시작 진공은 3*10-3Pa보다 높아야 합니다. 코팅 기계가 클수록 증발 시작 진공이 높아집니다.
가능한 경우 장치에 이온 소스가 장착되어 도금 전에 충격을 가하고 기판 표면을 청소하고 도금 공정을 지원하여 필름의 조밀함과 견고성에 도움이 됩니다.
멤브레인 재료의 수분을 제거하기 위해 페트리 접시에 사용할 멤브레인 재료를 진공 챔버에 넣어 건조시킵니다.
작업 환경을 건조하게 유지(렌즈 닦기, 우산 작업 영역 포함)하고 작업 환경을 청소할 때 너무 많은 수증기를 가져오지 마십시오.
다층 필름의 경우 필름 시스템을 설계할 때 첫 번째 필름과 기판의 일치를 고려해야 하며 대부분의 기판에 흡착력이 좋은 Al2O3 필름 재료를 최대한 사용하는 것을 고려해야 합니다. 금속 필름의 경우 Cr 또는 Cr 합금 도금의 첫 번째 층도 고려할 수 있습니다. Cr 또는 Cr 합금은 또한 기질에 대한 더 나은 흡착력을 가지고 있습니다.
연마액(연마액)을 사용하여 렌즈 표면의 부식층(가수분해층)을 재생 및 제거합니다.
때때로 적절한 증발율 감소는 필름 강도를 높이는 데 도움이 되며, 필름 표면의 평활도를 향상시키는 긍정적인 의미를 갖는다.
필름 스트레스:
박막의 성막과정은 물질형태의 변형과정이다. 필름 형성 후 필름층에 응력이 생기는 것은 불가피합니다. 다층 필름의 경우 서로 다른 필름 재료의 조합이 있으며 각 필름 층에서 반사되는 응력 차이가 있습니다. 일부는 인장 응력, 일부는 압축 응력, 필름과 기판의 열 응력이 있습니다.
스트레스의 존재는 필름의 강도에 해롭다. 가볍다는 것은 필름이 마찰을 견디지 못한다는 뜻이고, 무거운 것은 필름에 금이 가거나 얇은 그물이 생긴다.
반사 방지 필름의 경우 일반적으로 레이어 수가 적기 때문에 응력이 명확하지 않습니다. (단, 일부 질산염 렌즈는 반사 방지막이라 하더라도 응력 문제가 있습니다.) 고반사 필름 및 더 많은 층이 있는 필터 필름의 경우 응력은 일반적인 바람직하지 않은 요소이므로 특히 주의해야 합니다.
전략 개선:
도금 후 굽는다. 필름의 마지막 층이 도금된 후 즉시 베이킹을 중단하지 않고 10분 동안 "템퍼링"을 계속합니다. 필름 구조를보다 안정적으로 만드십시오.
냉각 시간이 적절하게 연장되고 어닐링이 노화됩니다. 진공챔버 내부와 외부의 과도한 온도차로 인한 열응력을 감소시킵니다.
고반사 필름, 필터 필름 등의 경우 증착 공정 중 기판 온도가 너무 높아서는 안 됩니다. 고온은 열 스트레스를 유발할 수 있기 때문입니다. 그리고 티타늄 산화물, 탄탈륨 산화물과 같은 필름 재료의 광학적 안정성에 부정적인 영향을 미칩니다.
이온은 응력을 줄이기 위해 코팅 공정을 돕습니다.
일치하는 적절한 필름 시스템을 선택하고 필름 재료의 첫 번째 레이어와 기판이 일치합니다. (예를 들어, 5층 반사 방지 필름은 Al2O3-ZrO2-Al2O3-Al2O3-ZrO2-MgF2를 사용합니다. ZrO2는 SV-5(ZrO2 TiO2 혼합 필름 재료) 또는 기타 혼합 고굴절률 필름 재료를 사용할 수도 있습니다.
증발율을 적절하게 감소(Al2O3-2.5A/S; ZrO2-3A/S; MgF2-6A/S 기준율)
모든 산화피막재료에 대해 산소충전 반응도금을 하며, 다른 피막재료에 따라 산소가스 유입량을 조절한다.
외부 필름의 표면 경도:
반사 방지 필름은 일반적으로 MgF2를 외층으로 사용합니다. 필름의 단면은 비교적 느슨한 주상 구조이며 표면 경도가 높지 않아 도로 닦기가 쉽습니다.
전략 개선:
필름 시스템 설계가 허용하는 경우 외부 층에 약 10nm SiO2 층을 추가하면 이산화규소의 표면 평활도가 불화마그네슘보다 좋습니다(그러나 이산화규소의 내마모성과 경도는 불화마그네슘만큼 좋지 않음). 도금 후 몇 분 동안 이온 충격을 가하면 견고함의 효과가 더 좋습니다. (단, 표면이 두꺼워집니다)
렌즈가 진공 챔버를 떠난 후 빠른 수분 흡수를 방지하고 표면 경도를 줄이기 위해 건조하고 깨끗한 장소에 두십시오.
다른
필름 강도가 낮은 이유는 낮은 진공(수동으로 제어되는 기계에서 발생하기 쉬운), 더러운 진공 챔버 및 불충분한 기판 가열을 포함합니다.
보조 가스가 채워지면 멤브레인 재료도 가스 방출되어 진공도가 감소하고 분자 자유 경로가 감소하며 멤브레인 층이 강하지 않습니다. 따라서 보조 가스의 충전은 필름 재료의 가스 제거를 고려해야하며 도금 전에 필름 재료가 완전히 사전 용융되고 완전히 가스가 제거되어 필름의 가스 제거로 인한 진공도의 과도한 감소를 피할 수 있습니다. 증발하는 동안 물질이 증발하여 필름 강도에 영향을 미칩니다.
필름을 벗다
여기서 개봉하는 영화도 일종의 허약한 영화지만, 이전 개봉작과 몇 가지 차이점이 있다. 주요 기능은 포인트 릴리스, 에지 릴리스 및 부분 릴리스입니다.
주된 이유는 멤브레인에 먼지나 오염 물질이 있기 때문입니다.
개선 방법: 기판의 청결도를 개선합니다.
2007년에 Huahong Vacuum Technology라는 이전 이름으로 설립된 전문 기업입니다. 중국 광학 필름 코팅 기계 공급 업체 그리고 광학 필름 코팅 기계 공급업체 ,스퍼터링 시스템, 광학 코팅 장치, 배치 금속화 장치, 물리적 증기 증착(PVD) 시스템, 내마모성 진공 코팅 증착 장비, 유리, PE, PC 기판 코팅기, 유연 코팅용 롤투롤 기계를 포함하되 이에 국한되지 않음 기질. 이 기계는 자동차, 장식, 경질 코팅, 공구 및 금속 절단 코팅, 대학을 포함한 산업 및 연구소의 박막 코팅 응용 분야에 아래에 설명된 광범위한 응용 분야에 사용됩니다(단, 이에 국한되지 않음).Danko Vacuum Technology Company Ltd는 최선을 다하고 있습니다. 고품질, 고성능 및 도매 광학 필름 코팅 기계 가격을 제공하여 시장 경계를 확장합니다. 우리 회사는 국내 및 국제 시장에서 애프터 서비스에 중점을 두고 고객의 요구를 충족시키기 위해 정확한 부품 처리 계획과 전문 솔루션을 제공합니다.

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