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오일 확산 펌프 초고속 진공 청소기 (UHV) 수준을 달성 할 때 탁월하며, 일반적으로 10^-9 ~ 10^-10 Torr의 범위. 이로 인해 반도체 산업, 재료 과학, 표면 과학 연구, 전자 현미경 및 우주 시뮬레이션 챔버와 같이 깊은 진공 상태가 필수적인 응용 분야에 이상적입니다. 이에 비해, 진공 범위가 낮을수록 로터리 베인 또는 스크롤 펌프와 같은 펌프는 동일한 높은 진공 수준에 도달하지 않으며 매우 낮은 압력에서 일관된 진공 조건을 유지하는 데 어려움을 겪을 수 있습니다. 오일 확산 펌프의 압력을 쉽게 처리 할 수있는 능력은 정밀도와 안정성을 요구하는 고혈압 응용 분야에서 상당한 이점을 제공합니다.
오일 확산 펌프는 터보-분자 또는 극저온 펌프와 같은 다른 펌프에 비해 높은 진공을 달성하기위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 오일 확산 펌프에는 일상적인 오일 유지 보수가 필요하지만 전반적인 투자 비용은 고급 펌핑 시스템의 투자 비용보다 훨씬 저렴합니다. 예를 들어, 터보-분자 펌프는 초고 진공 진공 응용 분야에서 매우 효과적이지만 자본 비용이 높고 유지 보수가 더 필요하며 복잡한 기계 시스템이 있습니다. 극저온 펌프는 일부 응용 분야에서 효율적이지만 상당한 에너지 입력과 비싼 인프라가 필요합니다. 반면, 오일 확산 펌프는 비용의 일부로 탁월한 성능을 제공하므로 대규모 진공 요구 사항이있는 산업 및 연구 시설 모두에 선호되는 선택이됩니다.
오일 확산 펌프의 설계는 비교적 단순하며 가스를 포획하고 대피하기 위해 오일 증기 확산의 원리에 따라 작동합니다. 빠르게 회전하는 로터 또는 정교한 로터 블레이드 메커니즘에 의존하는 터보-분자 펌프와 같은 더 복잡한 펌프와 달리 오일 확산 펌프는 움직이는 부품이 적습니다. 이 단순성은 기계적 실패의 가능성을 줄이고 복잡한 수리의 필요성을 최소화합니다. 단순화 된 설계는 또한 시간이 지남에 따라 더 적은 구성 요소를 유지하거나 교체해야 함을 의미하며, 운영 비용을 줄이고 펌프의 운영 수명을 연장합니다. 이로 인해 오일 확산 펌프는 고혈압 응용 분야에서 장기적으로 사용하기에 매우 신뢰할 수있는 옵션이됩니다.
간단한 기계 설계로 인해 오일 확산 펌프는 신뢰성과 긴 서비스 수명으로 유명합니다. 그들은 터보-분자 또는 이온 펌프에서 볼 수 있듯이 마모에 취약한 복잡한 고속 회전 부품이 없습니다. 결과적으로, 오일 확산 펌프는 기계적 고장 및 고장이 덜 발생합니다. 적절한 유지 보수 및 정기적 인 오일 교환 으로이 펌프는 수년간 지속적으로 작동하여 고혈압 환경을 요구하는 일관된 성능을 보장 할 수 있습니다. 이 신뢰성은 특히 운영 수명이 길고 최소한의 가동 중지 시간이 생산성을 유지하는 데 중요한 산업 환경에서 유리합니다.
오일 확산 펌프는 대량의 가스를 대피 할 수 있으므로 대형 진공 챔버가있는 시스템 또는 가스의 지속적인 대피가 필요한 공정에 사용하기에 이상적입니다. 이들의 설계를 통해 가스의 높은 처리량을 허용하여 진공 코팅, 재료 테스트 및 기타 대규모 진공 공정과 같은 응용 분야에 적합합니다. 이는 반도체 생산 또는 대규모 연구 실험과 같은 넓은 지역에서 일관된 진공 수준을 유지 해야하는 제조 환경에서 특히 중요합니다. 대조적으로, 터보-분자 펌프와 같은 다른 고혈압 펌프는 대량의 가스를 처리하는 데 어려움을 겪을 수 있으며 더 작은 진공 챔버가있는보다 구체적인 응용 분야에서 사용됩니다.
오일 확산 펌프는 터보 분자 펌프의 로터와 같은 고속 이동 부품을 특징으로하지 않기 때문에 작동 중에 최소 진동을 생성합니다. 이 특성은 전자 현미경, 질량 분석기 또는 표면 분석 도구와 같은 민감한 장비 또는 측정이 필요한 응용 분야에서 중요하며, 약간의 진동조차도 결과 품질에 영향을 줄 수 있습니다. 오일 확산 펌프는 더 조용하고 안정적인 진공 환경을 제공하며, 이는 정밀도가 가장 중요한 설정에서 중요한 이점입니다. 오일 확산 펌프의 낮은 진동 출력은 다른 기계 시스템의 마모를 줄이는 데 도움이되며 펌프와 전체 진공 시스템의 수명에 더욱 기여합니다 .
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