Summary: 진공 코팅기 주로 진공 저항 가열 증발, 전자총 가열 증발, 마그네트론 스퍼터링, MBE 분자빔 에피택시, PLD 레이저 스퍼터링 증착, 이온을 포함한 많은 유형을...
진공 코팅기 주로 진공 저항 가열 증발, 전자총 가열 증발, 마그네트론 스퍼터링, MBE 분자빔 에피택시, PLD 레이저 스퍼터링 증착, 이온을 포함한 많은 유형을 포함하여 더 높은 진공에서 수행되어야 하는 코팅 유형을 말합니다. 빔 스퍼터링의 종류. 주요 아이디어는 증발과 스퍼터링의 두 가지 종류로 나뉩니다.
전기 제어 캐비닛 작동
1. 워터 펌프와 공기 공급원을 켭니다.
2. 주 전원을 켭니다.
3. 유지 보수 펌프와 진공 게이지의 전원을 켜고 진공 게이지 위치 V1을 켜고 값이 10 미만이 될 때까지 기다린 후 다음 단계로 들어갑니다. 5분 정도 소요됩니다.
4. 기계식 펌프, 프리 펌프를 켜고 터보 분자 펌프의 전원을 켜고 시동합니다. 진공 게이지 스위치가 V2 위치로 변경됩니다. 2 미만으로 펌핑하는 데 약 20분이 걸립니다.
5. 터보 분자 펌프의 판독값이 250에 도달하는 것을 관찰한 후 사전 펌프를 끄고 배압 펌프와 고진공 밸브를 켜서 진공 청소를 계속합니다. 진공이 일정 수준에 도달하면 오른쪽에 있는 고진공 게이지를 켜서 진공을 관찰합니다. 진공이 2×10-3에 도달한 후에야 전자총 전원을 켤 수 있습니다.
DEF-6B 작전
1. 총 전력 공급.
2. 전자총 제어 Ⅰ 및 전자총 제어 Ⅱ 전원을 동시에 켭니다: 전자총 제어 Ⅰ 전원 공급 장치, 지연 스위치, 지연, 전원 공급 장치 및 보호 표시등이 켜집니다. 3분이 지나면 지연 및 보호 표시등이 꺼집니다. 뒷문이 닫히지 않았거나 물 흐름 릴레이에 오류가 있는 경우 보호 표시등이 항상 켜집니다.
3. 고전압이 켜지면 고전압이 10KV 이상에 도달하고 빔 전류를 약 200mA로 조정할 수 있으며 커튼 그리드는 20V/100mA, 필라멘트 전류는 1.2A이고 편향 전류는 1과 1.7.
종료 순서
1. 고진공 미터와 분자 펌프를 끕니다.
2. 분자 펌프 표시가 50에 도달하면 하이 밸브, 전면 스테이지, 기계식 펌프를 차례로 끕니다. 이 시간은 약 40분 정도 소요됩니다.
3. 50 미만일 때 유지 보수 펌프를 다시 끕니다.
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