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진공 코팅 기계 주로 진공 저항 가열 증발, 전자 건 난방 증발, 마그네트론 스퍼터링, MBE 분자 빔 상피, PLD 레이저 스퍼터링 퇴적, ION을 포함하여 많은 유형을 포함하여 더 높은 진공 상태에서 수행 해야하는 코팅 유형을 나타냅니다. 주요 아이디어는 두 가지 종류의 증발과 스퍼터링으로 나뉩니다.
전기 제어 캐비닛 작동
1. 워터 펌프와 공기원을 켭니다.
2. 주 전원 공급 장치를 켭니다.
3. 유지 보수 펌프의 전원 공급 장치와 진공 게이지 위치 V1 인 진공 게이지의 전원 공급 장치를 켜고 값이 10 미만이 될 때까지 기다린 다음 다음 단계를 입력하십시오. 약 5 분이 걸립니다.
4. 기계식 펌프를 켜고, 사전 펌프를 켜고, 터보 분자 펌프의 전력을 켜서 시작하십시오. 진공 게이지 스위치는 V2 위치로 변경됩니다. 2 미만으로 펌핑하는 데 약 20 분이 걸립니다.
5. 터보 분자 펌프의 판독이 250에 도달 한 후, 프리 펌프를 끄고 백킹 펌프와 높은 진공 밸브를 켜서 진공 청소기를 계속하십시오. 진공이 특정 수준에 도달 한 후 오른쪽의 높은 진공 게이지를 켜서 진공을 관찰하십시오. 진공이 2 × 10-3에 도달 한 후에 만 전자 건 전원 공급 장치를 켤 수 있습니다.
1. 워터 펌프와 공기원을 켭니다.
2. 주 전원 공급 장치를 켭니다.
3. 유지 보수 펌프의 전원 공급 장치와 진공 게이지 위치 V1 인 진공 게이지의 전원 공급 장치를 켜고 값이 10 미만이 될 때까지 기다린 다음 다음 단계를 입력하십시오. 약 5 분이 걸립니다.
4. 기계식 펌프를 켜고, 사전 펌프를 켜고, 터보 분자 펌프의 전력을 켜서 시작하십시오. 진공 게이지 스위치는 V2 위치로 변경됩니다. 2 미만으로 펌핑하는 데 약 20 분이 걸립니다.
5. 터보 분자 펌프의 판독이 250에 도달 한 후, 프리 펌프를 끄고 백킹 펌프와 높은 진공 밸브를 켜서 진공 청소기를 계속하십시오. 진공이 특정 수준에 도달 한 후 오른쪽의 높은 진공 게이지를 켜서 진공을 관찰하십시오. 진공이 2 × 10-3에 도달 한 후에 만 전자 건 전원 공급 장치를 켤 수 있습니다.
DEF-6B 작동
1. 총 전원 공급 장치.
2. 전자 총기 제어 ⅰ 및 전자 총기 제어 ⅱ 전원 전원 공급 장치를 동시에 켜십시오 : 전자 총기 제어 ⅰ 전원 공급 장치, 지연 스위치, 지연, 전원 공급 장치 및 보호 조명이 켜져 있습니다. 3 분 후 지연 및 보호 조명이 꺼져 있습니다. 백 도어가 닫히지 않거나 물 흐름 릴레이에 고장이 발생하면 보호 표시등이 항상 켜져 있습니다.
3. 고전압이 켜지면 고전압이 10kV 이상에 도달하고 빔 전류는 약 200mA, 커튼 그리드는 20V/100MA, 필라멘트 전류는 1.2A, 1과 1.7 사이의 편향 전류 스윙을 조정할 수 있습니다.
종료 시퀀스
1. 높은 진공 미터와 분자 펌프를 끄십시오.
2. 분자 펌프 디스플레이가 50에 도달하면 높은 밸브, 전면 스테이지 및 기계식 펌프를 차례로 끕니다. 이 기간은 약 40 분이 걸립니다.
3. 50 미만인 경우 유지 보수 펌프를 다시 끕니다 .
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