Magnetron 스퍼터링 진공 코팅 기계 란 무엇이며 어떻게 작동합니까?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Magnetron 스퍼터링 진공 코팅 기계 란 무엇이며 어떻게 작동합니까?

Magnetron Sputtering 진공 코팅 기계는 광범위한 기판에 박막 증착에 사용되는 최첨단 기술입니다. 그러나 정확히 무엇이며 어떻게 작동합니까?

그 핵심에서 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 기계 표적 재료, 일반적으로 금속 또는 합금 및 코팅 될 기판을 함유하는 고혈압 챔버입니다. 이 과정은 고 에너지 이온에 의한 표적 재료의 폭격을 포함하며, 이는 표면에서 원자를 제거하여 기판에 침착시켜 박막을 형성한다.

Magnetron 스퍼터링 진공 코팅 기계의 주요 구성 요소 중 하나는 Magnetron이며, 이는 챔버에서 고 이온화 된 플라즈마를 생성하는 플라즈마 소스의 한 유형입니다. 마그네트론은 음극 (표적 재료), 양극 및 자기장으로 구성됩니다. 자기장은 혈장을 제한하고 챔버에서 가스 분자의 이온화를보다 효율적인 스퍼터링으로 향상시키는 역할을합니다.

이 과정은 챔버를 높은 진공으로 펌핑하여 일반적으로 약 10^-6 Torr로 시작합니다. 그런 다음 표적 물질은 이온에 의해 충격을 받고, 이온은 원자를 녹아웃하고 기질에 증착 된 입자의 플럭스를 생성한다. 증착 속도 및 필름 특성은 챔버의 이온 플럭스, 표적 전압 및 압력을 조정함으로써 제어 될 수있다.

Magnetron Sputtering 진공 코팅 기계의 장점 중 하나는 다양성입니다. 금속, 합금, 세라믹 및 반도체를 포함한 광범위한 재료를 퇴적하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 경도, 내마모성 또는 광학적 특성과 같은 고유 한 특성을 가질 수있는 다층 코팅을 만드는 데 사용될 수 있습니다.

Magnetron 스퍼터링 진공 코팅 기계의 또 다른 장점은 높은 수준의 균일 성입니다. 챔버의 자기장은 표적의 표면을 가로 질러 이온 플럭스를 더 균일 한 증착 속도 및 두께로 분배하는 역할을한다.

결론적으로, Magnetron 스퍼터링 진공 코팅 기계는 항공 우주, 전자 제품 및 광학과 같은 산업에서 널리 사용되는 매우 정교한 기술입니다. 광범위한 재료를 퇴적하고, 다층 코팅을 만들고, 균일 한 필름을 생산하는 능력은 연구 및 개발을위한 필수 도구 및 대규모 생산을위한 필수 도구입니다.

DC 마그네트론 스퍼터링 증착 시스템

멀티 아크 이온 및 스퍼터링 코팅은 광범위한 색상으로 증착 될 수 있습니다. 증착 공정 동안 챔버에 반응성 가스를 도입함으로써 색상의 울퉁불퉁 한 것이 더욱 향상 될 수있다. 장식 코팅에 널리 사용되는 반응성 가스는 질소, 산소, 아르곤 또는 아세틸렌입니다. 장식 코팅은 코팅의 금속 대 가스 비율과 코팅의 구조에 따라 특정 색 범위로 생성됩니다. 이들 요인 모두 증착 파라미터를 변경함으로써 변경 될 수있다.

증착 전에, 부품이 청소되도록 표면에 먼지 또는 화학적 불순물이 없도록. 코팅 프로세스가 시작되면 모든 관련 프로세스 매개 변수는 자동 컴퓨터 제어 시스템에 의해 지속적으로 모니터링되고 제어됩니다.

• 기질 재료 : 유리, 금속 (탄소강, 스테인리스 스틸, 황동), 세라믹, 플라스틱, 보석.

• 구조 유형 : 수직 구조, #304 스테인리스 스틸.

• 코팅 필름 : 다기능 금속 필름, 복합 필름, 투명 전도성 필름, 반사 기능 발동 필름, 전자기 차폐 필름, Decorative Film.

• 필름 색상 : 멀티 컬러, 총 검은 색, 티타늄 황금색, 로즈 골든 컬러, 스테인레스 스틸 컬러, 자주색, 진한 검은 색, 진한 파란색 및 기타 더 많은 색상.

• 필름 유형 : Tin, CRN, ZRN, TICN, TICRN, TINC, TIALN 및 DLC.

• 생산 소모품 : 티타늄, 크롬, 지르코늄, 철, 합금 표적; 평면 대상, 원통형 목표, 트윈 대상, 반대쪽 목표.

애플리케이션:

• 유리 컵, 유리 램프, 유리 아트 워크와 같은 유리 제품.

• 플라스틱 전화 쉘, 전화 부품.

• 모자이크 타일.

• EMI 필름과 같은 전자 산업.