반응성 스퍼링이란 무엇입니까?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

반응성 스퍼링이란 무엇입니까?

스퍼터링은 물리 증기 증착 (PVD)의 일반적인 기술입니다. 중국 하드 필름 진공 코팅 기계 , 박막 코팅을 생산하는 방법 중 하나. 표준 스퍼터링은 원하는 순수한 재료의 대상과 불활성 가스 (일반적으로 아르곤)를 사용합니다.

재료가 단일 순수한 화학 요소 인 경우, 원자는 단순히 그 형태의 대상에서 나와 그 형태로 퇴적합니다.

그러나, 불활성 가스 (아르곤) 외에 (더 일반적으로) 산소 또는 질소와 같은 비 불활성 가스를 사용할 수도 있습니다. 이 작업이 완료되면, 이온화되지 않은 비 불활성 가스는 표적 재료 증기 구름과 화학적으로 반응하여 분자 화합물을 생성하여 증착 된 필름이 될 수있다. 예를 들어, 산소 가스로 반응 적으로 스퍼터링 된 실리콘 표적은 실리콘 산화물 필름을 생성하거나 질소 가스로 질화 질화물 필름을 생성 할 수 있습니다 .

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