음극 아크 이온 도금의 작동 원리는 무엇입니까?

우선, 양전위를 가진 아크 타격 바늘(양극)은 음전위를 가진 표적(음극)에 가깝습니다. 양극과 음극 사이의 거리가 충분히 작으면 두 전극 사이의 가스가 분해되어 전기 용접의 아크 타격과 유사한 아크 전류를 형성합니다. 이때 N2의 일부가 이온화되어 질소 양이온과 전자를 형성한다.

전계력에 이끌려 질소 양이온은 타겟 근처의 음극으로 날아가고 전자는 아크 점화 바늘로 날아갑니다. 그러나 이온의 질량은 전자의 질량보다 훨씬 큽니다. 따라서 동일한 전계력 하에서 전자의 이동 거리는 양이온의 이동 거리보다 클 것입니다. 따라서 전자가 양극에 도달하면 이온은 음극 타겟에 도달하지 않고 아크 점화 바늘로 날아갑니다 타겟 표면 근처에 양이온 축적층이 형성됩니다.

양이온과 음극 타겟 표면 사이의 거리는 마이크론 수준까지 매우 작습니다. e = u / D에 따르면 이 시점에서 공간의 전기장이 극도로 높아 전자를 대상에서 "끌어낼" 것임을 알 수 있습니다. "끌어당긴" 전자는 음극 타겟에서 양이온 축적층으로 날아가 전류를 형성합니다. Stacking layer는 target surface와 연결되고 target surface 근처에 arc가 생성된다.

동시에 양이온은 캐소드 타겟 표면에 끌리게 되어 양이온이 타겟 표면을 공격하고 스퍼터링을 생성합니다. 증발되거나 스퍼터링된 필름 입자는 양이온 축적층을 통과해야 하고 음극 대상 표면에서 날아가는 과정에서 필름 입자가 대상 표면에서 아크의 영향을 받으므로 대부분의 입자가 공작물에 도달하는 것은 이온 상태입니다.

음의 바이어스 전압은 일반적으로 공작물에 적용되므로 양이온이 전계력의 작용하에 공작물로 날아가 공작물에 충격을 가합니다. DLC 코팅기 제조사 . 이 충격은 필름의 접착력을 향상시키고 마찰을 조밀하게 만들어 필름의 품질을 향상시키는 데 매우 유용합니다.

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