열 증발에 의한 박막 증착은 무엇입니까?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

열 증발에 의한 박막 증착은 무엇입니까?

물리 증기 증착 (PVD)의 일반적인 방법 중 하나는 열 증발입니다. 이것은 박막 증착의 한 형태로 코팅 적용을위한 진공 기술입니다. 증발 진공 코팅 기계 공급 업체 다양한 물체의 표면에 순수한 재료. 필름이라고도하는 코팅은 일반적으로 앙스트롬의 두께 범위에 있으며 단일 재료 일 수 있거나 층 구조의 여러 재료 일 수 있습니다.
열 증발 기술로 적용되는 재료는 금속 및 비 금속 둘 다를 포함한 순수한 원자 요소 일 수 있거나 산화물 및 질화물과 같은 분자 일 수 있습니다. 코팅 될 물체는 기판이라고하며 반도체 웨이퍼, 태양 전지, 광학 성분 또는 기타 여러 가능성과 같은 다양한 것들 중 하나 일 수 있습니다.

열 증발은 고 진공 챔버 내부에서 고체 재료를 가열하여 일부 증기 압력을 생성하는 온도로 가져갑니다. 진공 내부에서는 상대적으로 낮은 증기 압력조차도 챔버 내부에서 증기 구름을 높이기에 충분합니다. 이 증발 된 재료는 이제 증기 스트림을 구성하는데, 이는 챔버를 가로 지르고 코팅 또는 필름으로 달라 붙어 기판을 때린다.
열 증발 과정의 경우 재료는 용융점으로 가열되고 액체이기 때문에, 일반적으로 챔버의 바닥에 위치하며, 종종 어떤 종류의 직립 도가니에 있습니다. 그런 다음 증기는이 하단 소스 위로 올라가고 기판은 챔버 상단의 적절한 고정물로 반전됩니다. 코팅 된 표면은 가열 된 공급원 재료를 향해 향하여 코팅을받습니다.
STEPS

공유하다: