아크 이온 코팅
PVD-- 물리 증기 증착
한 형태의 물리 증기 증착 (PVD 코팅)은 아크 이온 코팅입니다. PVD 코팅의 역사는 아크 용접에서 기원을 가진 아크 기술을 사용하기 시작했습니다.
목표
증발 할 금속은 진공 챔버 내부에 대해 고체 블록 (표적)으로 배치된다. 글로우 방전이 점화되어 대상으로 실행되어 발자국이 남습니다. 몇 μm 직경 표적 물질의 작은 반점이 증발됩니다. 아크의 움직임은 자석으로 안내 될 수 있습니다.
혈장 코팅
증발 된 이온화 된 물질은 진공 챔버 내부에서 회전하는 생성물의 혈장 코팅으로 사용된다. 아크 코팅은 공구 코팅 및 구성 요소 코팅으로 사용됩니다.
코팅의 예
아크 코팅의 예로는 주석, 아이틴, AICRN, Tisin, TICN, CRCN 및 CRN 코팅이 있습니다.
PVD 아크 프로세스의 개략도.
아크 코팅 기술의 특징 :
높은 증착 속도 (1 ~ 3 μm/h)가 높은 이온화로, 표적이 냉각 될 때 우수한 접착력 및 고밀도 코팅을 초래하고, 기판에 대한 열이 적고, 100 ℃ 이하의 온도에서도 코팅도 증발 할 수 있으며, 이는 몇 가지 단단한 표적을 성분에서 변경할 수있다. 캐소드는 어떤 위치 (수평, 수직, 거꾸로)에 배치하여 유연한 기계 설계를 가능하게합니다.
아크 코팅 기술의 주요 단점 :
제한된 종류의 표적 재료 - 금속 만 (산화물 없음) - 고전류 밀도로 인해 증발 온도가 너무 낮지 않습니다. 어느 정도의 목표물은 작은 액체 액 적으로 배출됩니다 .