연속 마그네트론 스퍼터링 머신

시스템 요약

이 일련의 코팅 라인은 주로 평판 유리, 아크릴, PC, PE 재료에 사용되어 고품질의 다기능 금속 필름, 전자파 차폐 필름, 반응 필름, 투명 전도성 필름, 반사 방지(AR) 및 강화 반사 필름 및 Low-E 싱글 실버, 더블 실버, 트리플 실버, 강화 싱글 실버, 강화 더블 실버, 모든 태양광 코팅 등

형질:

• 이 코팅 라인은 첨단 제어 시스템과 함께 진공 마그네트론 스퍼터링 기술, 트윈 캐소드 기술 및 MF 스퍼터링 기술을 사용합니다.
• 생산 공정은 전자동이고 연속적이며 코팅된 기판의 최고 온도는 350℃까지 가능하며 요구 사항에 따라 조정 가능합니다.
• 챔버는 SUS304 재질로 내벽을 연마하고 챔버 외벽을 연마 후 도색합니다.
• 챔버는 슬라이더 댐퍼로 설계된 독립 게이트 밸브로 분리됩니다. 쉽게 절단될 수 있으므로 공정이 안정됩니다. 컨베이어는 마그네트론 모터에 의해 구동되어 운반의 안정성을 보장합니다. 전체 라인의 속도는 가변 주파수 조정 가능한 속도 모터에 의해 제어되며 주행 속도는 조정 가능합니다.
• 전기 제어 시스템: 터치 스크린 및 PLC 자동 제어, 데이터 표시를 달성하기 위한 인간-기계 대화, 작동 및 제어.