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현대의 박막 기술의 최첨단 대표자 인 RF Magnetron Sputtering 증착 시스템은 고유 한 시스템 특성을 가지며 재료 준비 분야에서 특별한 매력을 보여줍니다. 이 시스템은 무선 주파수 스퍼터링 및 마그네트론 스퍼터링의 이중 장점을 통합하고 필름 품질이 더욱 발전하여 균일 성, 유연성 및 작동 용이성에서 상당한 개선이 이루어졌습니다.
RF Magnetron Sputtering 증착 시스템은 필름 품질의 우수성을 추구합니다. 무선 주파수 전원 공급 장치에 의해 생성 된 고주파 전기장과 자기장의 효과적인 조합을 통해 스퍼터링 공정을 잘 제어하여 고순도, 고밀도 및 강한 접착력을 준비합니다. 박막,이 필름은 성능이 뛰어난 표준에 도달했으며 다양한 정밀 응용 분야의 요구를 충족 시켰습니다. RF 마그네트론 스퍼터링 증착 시스템은 필름 균일 성이 뛰어납니다. 독특한 자기장 설계는 전자가 대상 표면 근처에 있음을 보장합니다. 안정적인 나선형 궤적의 형성은 스퍼터링 된 입자의 분포의 균일 성을 효과적으로 향상시킨다. 이 설계는 기판에 퇴적 된 필름의 두께와 구성을보다 일관성있게 만들어 제품의 신뢰성과 일관성을 향상시킵니다. 이 시스템은 또한 유연성이 매우 높습니다. 금속, 합금, 세라믹 등을 포함한 다양한 표적 재료를 스퍼터링하는 데 적합하여 복합 필름 및 다층 필름을 준비 할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 시스템을 널리 사용할 수 있습니다. 다양한 응용 시나리오의 요구를 충족시키기 위해 전자 공학, 광학 장치, 태양 전지 등과 같은 많은 분야에서 사용됩니다 .
시스템 요약
멀티 아크 이온 및 스퍼터링 코팅은 광범위한 색상으로 증착 될 수 있습니다. 증착 공정 동안 챔버에 반응성 가스를 도입함으로써 색상의 울퉁불퉁 한 것이 더욱 향상 될 수있다. 장식 코팅에 널리 사용되는 반응성 가스는 질소, 산소, 아르곤 또는 아세틸렌입니다. 장식 코팅은 코팅의 금속 대 가스 비율과 코팅의 구조에 따라 특정 색 범위로 생성됩니다. 이들 요인 모두 증착 파라미터를 변경함으로써 변경 될 수있다.
증착 전에, 부품이 청소되도록 표면에 먼지 또는 화학적 불순물이 없도록. 코팅 프로세스가 시작되면 모든 관련 프로세스 매개 변수는 자동 컴퓨터 제어 시스템에 의해 지속적으로 모니터링되고 제어됩니다.
• 기판 재료 : 유리, 금속 (탄소강, 스테인리스 스틸, 황동), 도자기, 플라스틱, 보석.
• 구조 유형 : 수직 구조, #304 스테인리스 스틸.
• 코팅 필름 : 다기능 금속 필름, 복합 필름, 투명 전도성 필름, 반사 기능 발동 필름, 전자기 차폐 필름, Decorative Film.
• 필름 색상 : 멀티 컬러, 총 검은 색, 티타늄 황금색, 로즈 골든 컬러, 스테인레스 스틸 컬러, 자주색, 진한 검은 색, 진한 파란색 및 기타 더 많은 색상.
• 필름 유형 : Tin, CRN, ZRN, TICN, TICRN, TINC, TIALN 및 DLC.
• 생산 소모품 : 티타늄, 크롬, 지르코늄, 철, 합금 표적; 평면 대상, 원통형 목표, 트윈 대상, 반대쪽 목표.
애플리케이션:
• 유리 컵, 유리 램프, 유리 아트 워크와 같은 유리 제품.
• 플라스틱 전화 쉘, 전화 부품.
• 모자이크 타일.
• EMI 필름과 같은 전자 산업.
• 시계 케이스 및 벨트와 같은 부품을 시계합니다.
• 금속 포크 및 칼과 같은 테이블웨어.
• 골프장, 골프 폴 및 골프 공과 같은 골프장.
• 위생 제품/욕실 도자기.
• 도어 핸들 및 잠금.
• 금속 보석 .
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